在线APCVD镀膜玻璃渐变过渡层性能研究

• 作者: 姜宏 张振华 潘国治 符有杰 胡铁石 赵会峰
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: FTO薄膜 过渡层 渐变膜层 在线镀膜 常压化学气相沉积法
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 4157-4162
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 3843字
• 语种: 中文

摘要

通过在线常压化学相沉积镀膜手段制备了FTO玻璃的单层硅/锡混合过渡膜层,并通过各种分析手段测试了可见光透过率、方块电阻、膜层表面结构及纵向元素分布等性能,研究了其结构组成对各项性能的影响.结果表明:膜层中Sn含量由表面至基底玻璃逐渐减小同时Si含量逐渐增加,为良好的SiO2/SnO2渐变结构膜层;膜层可见光透过率主要由其膜层结构决定,在一定的范围内,可以通过调整膜层的渐变结构来改变其可见光透过率;表层致密程度及膜层结构渐变可以改善膜层的导电性;可作为FTO镀膜玻璃的过渡层使用.