拉曼光谱在SiC单晶中的应用

• 作者: 姜志艳
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: Si单晶衬底 3C-SiC单晶薄膜 碳化工艺
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 107-109
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2181字
• 语种: 中文

摘要

本文主要讲述拉曼光谱仪在碳化硅单晶的应用.拉曼光谱谱峰尖锐清晰,适合定性研究碳化硅单晶衬底的分子结构及组成,晶体的立体规整性,结晶与去向,晶体的表面及界面的结构.通过分析晶体的拉曼光谱,可以完善3C-SiC单晶薄膜结晶质量,进一步修正碳化硅单晶生长工艺.