用于透明平板平行度和均匀性测量的单元件干涉仪

• 作者: 兰斌 冯国英 周寿桓 张涛 梁井川
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 干涉测量法 相位测量 图像处理 折射率
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 地球物理学、天文学和天体物理学
• 页码范围: 390-400
• 页数: 11页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.069501

摘要

提出了一种基于单元件干涉的用于检测透明介质平整度和均匀性的干涉仪.该干涉仪的核心元件是一个菱形分光棱镜.激光光源的平面波光束的一半光束透过待测样品,另一半光束直接透过空气,然后分别入射到菱形分光棱镜的两垂直面并在分光面相遇、相干.通过旋转待测样品改变相干的两束光光程差,从而使干涉条纹发生移动.形成的相干光被分光板分成两束,一束进入光电探测器用于探测干涉条纹移动数的整数部分,另一束则进入电荷耦合探测器用于采集干涉条纹图来计算干涉条纹移动数的小数部分.通过计算条纹移动数反推出光程差的变化量,再结合折射率或样品厚度信息则可以计算出样品厚度或折射率的分布,从而检测出透明介质的平行度和均匀性.模拟仿真和光学实验均证明了本方法的可行性、准确性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所	178	773	14.0	19.0
2	冯国英	四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所	206	899	13.0	20.0
3	周寿桓	四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所	55	245	7.0	13.0
7	兰斌	四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所	9	36	2.0	6.0
8	梁井川	四川大学电子信息学院激光微纳工程研究所	2	1	1.0	1.0