特殊气体供应系统概述

• 作者: 李全朕
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: 特殊气体 气体供应 系统设计 安全管理
• 年，卷（期）: 2017,（23）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 69-70
• 页数: 2页
• 字数: 2997字
• 语种: 中文

摘要

随着半导体芯片、太阳能光伏、液晶面板产业的发展,生产使用的特殊气体种类不断增加,气体供应系统愈发复杂.特殊气体已经成为工厂内危险系数最高的因子,在这里我们根据特气不同的物理、化学性质进行了分类和讨论,进而对特种气体供应系统的规划、设计、设备选型及其安全管理进行了阐述,并且工厂内有着重要作用的气柜设计进行了探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李全朕		1	0	0.0	0.0