长条形镜面面形拟合技术研究

• 作者: 杨甬英 闫力松 韩西萌 马冬林
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉测量 面形拟合 长条形反射镜 正交化
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 光学设计与工艺
• 页码范围: 1011-1016
• 页数: 6页
• 分类号: O439|O436.1
• 字数: 1674字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20181106.1011

摘要

为了解决长条形镜面面形拟合中各项不正交,无法在调整中利用像差指导计算机辅助装调的问题,本文建立了一套合理的拟合模型.该模型以矩阵求解正交化Zernike多项式系数为基础,将离散的数据点作为定义域,对已选取的Zernike项进行定义域内正交化计算,并以获得的各正交项为基底,实现对长条形镜面及其他异形光学镜面的正交化多项式拟合求解.进而确定在干涉检测中加工误差与装调误差的分离,为光学镜面的最终面形收敛提供保障.根据本文实验结果,对一口径600 mm×260 mm,PV与RMS值分别为5.889λ及1.002λ的长条形光学镜面进行拟合,利用Metro-pro去像散后,面形未得到收敛,PV与RMS值分别变为7.448λ及1.725λ.而采用本文算法处理后,其PV与RMS值分别收敛为4.666λ及0.679λ,验证了本文方法对于长条形镜面拟合的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨甬英	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	44	354	11.0	18.0
2	马冬林	华中科技大学光电学院	3	2	1.0	1.0
3	闫力松	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	1	2	1.0	1.0