TC4钛合金表面沉积CrSiN/SiN纳米多层膜在3.5％NaCl溶液中的腐蚀磨损性能

• 作者: 何倩 孙德恩 曾宪光
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: TC4钛合金 CrSiN/SiN纳米多层膜 调制周期 腐蚀磨损
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 74-80
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.444|TG113.23
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170820001

摘要

为了研究纳米多层膜的耐腐蚀性能以及腐蚀磨损机理,采用离子源辅助磁控溅射在TC4钛合金表面制备不同调制周期的CrSiN/SiN纳米多层膜.使用扫描电子显微电镜、能谱仪表征涂层的微观结构、腐蚀形貌以及元素分布;使用划痕仪、纳米压痕仪、维氏硬度计测量涂层的膜基结合力、硬度、弹性模量及断裂韧性,采用电化学工作站以及销盘磨损仪测量涂层耐腐蚀性和腐蚀磨损性.结果表明:调制周期为90 nm与360 nm时涂层耐腐蚀性能较好,腐蚀电流密度分别为1.31×10-8 A.cm-2和1.20×10-8 A·cm-2.此外,调制周期为45 nm时,涂层硬度及弹性模量最大,分别为(22.5±0.6) GPa和(226.4±6.3) GPa,且腐蚀磨损率最低,为9.67×10-7nn3.N-1.m-1.多层膜结构显著改善了TC4钛合金的耐腐蚀及腐蚀磨损性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾宪光	四川理工学院材料腐蚀与防护四川省重点实验室	59	427	10.0	18.0
2	孙德恩	重庆大学材料科学与工程学院	11	62	6.0	7.0
3	何倩	重庆大学材料科学与工程学院	2	6	1.0	2.0