电子气体中金属杂质的捕集及分析方法综述

• 作者: 李正全 许春慧 谭慧 钟军
• 来源期刊: 材料化学前沿
• 学科: 经济
• 关键词: 电子气体 金属杂质 捕集 分析方法
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 111-118
• 页数: 8页
• 分类号: F4

摘要

电子气体是指在半导体及其它电子产品生产过程中所用到的高纯度气体,随着微电子工业的发展,电子气体的纯度和产品质量之间的关系日益密切,尤其是金属杂质的存在对半导体器件质量及成品率影响很大。因此,ppb (10?9)至ppt (10?12)级金属杂质的捕集及检测对电子气体的生产过程尤为重要。本文对电子气体中金属杂质的捕集以及分析方法做了文献综述,并对其今后的研究方向进行了展望。