主轴回转误差分析仪校准方法

• 作者: 崔建军 束红林 毛斌 袁兴起 邵宏伟 闫勇刚 陈恺
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 回转误差 校准装置 校准方法 不确定度评定
• 年，卷（期）: 2018,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 16-21
• 页数: 6页
• 分类号: TB921
• 字数: 2970字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.z1.04

摘要

针对超精密机床主轴回转误差分析仪校准难的问题,分析了主轴回转误差分析仪的系统组成及测量原理,提出了一种基于示值误差、线性度、重复性等主要计量特性的校准方法;搭建了一种专用的校准装置,该装置采用纳米微动台进行位移驱动,采用高精度激光干涉仪作为计量标准,测量线符合阿贝原则,能够在普通实验环境条件下实现:位移范围±1 mm内最佳测量能力优于10 nm,10 min内示值稳定性优于2 nm;进行了主轴回转误差分析仪校准试验,给出了不确定度评定方法.该校准方法及装置能够满足主轴回转误差分析仪以及各种纳米级位移传感器及仪器的溯源需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫勇刚	河南理工大学机械与动力工程学院	32	163	8.0	11.0
2	崔建军		33	122	6.0	8.0
3	邵宏伟		20	99	5.0	9.0
4	袁兴起	河南理工大学机械与动力工程学院	9	20	3.0	4.0
5	束红林	河南理工大学机械与动力工程学院	3	3	1.0	1.0
9	毛斌		7	1	1.0	1.0
10	陈恺		4	5	2.0	2.0