超薄件加工变形误差补偿的研究

• 作者: 房丰洲 曹月
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超薄件 变形补偿 超精密车削 面形重构
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 28-33
• 页数: 6页
• 分类号: TH706
• 语种: 中文
• DOI: 10.13494/j.npe.20170061

摘要

超薄件可广泛应用于高精度微型器件、光子系统等领域.针对加工后超薄件的较大变形,采用基于超精密车削的误差补偿方法进行研究.提出补偿理论与补偿方法,对原位面形误差与离线面形误差进行测量,利用补偿理论计算得到补偿面形,最后采用三轴伺服控制技术对超薄件变形误差进行车削补偿.补偿加工的超薄铝几何尺寸为Φ20×0.1 mm,一次补偿加工后,工件面形峰谷值由变形产生的误差从15 μm 降到10 μm,具有较好的补偿效果.对补偿中原位测量误差与位置偏移误差进行讨论,提出提高补偿加工精度的方法.