大口径石英元件精密清洗工艺研究

• 作者: 严鸿维 吕海兵 王海军 王韬 袁晓东 赵松楠
• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 精密清洗 湿化学蚀刻 七频超声清洗 石英元件
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 43-49
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 字数: 2680字
• 语种: 中文

摘要

本文采用酸蚀刻结合超声波清洗的方式对石英元件表面进行精密洁净清洗,利用光学显微镜观测了英元件清洗前后的表面状态,利用暗场成像系统监测了元件整体清洗情况,利用表面颗粒计数器、接触角测量仪、荧光光谱仪和红外光谱仪检验了元件清洗效果,通过实验研究,对石英元件精密清洗工艺进行了定型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
2	吕海兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	310	9.0	14.0
3	赵松楠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	17	90	6.0	9.0
4	王韬	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	21	36	3.0	4.0
5	严鸿维	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	10	9	2.0	2.0
6	王海军	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	20	106	6.0	9.0