微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统

• 作者: 巩岩 张昊 戴岑 李佃蒙 薛金来
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 共焦显微 微分干涉差 标量衍射 膜层结构 缺陷探测
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 255-264
• 页数: 10页
• 分类号: TH742.6
• 字数: 4353字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20181102.0255

摘要

多层膜极紫外光刻掩模"白板"缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模"白板"上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案.基于标量衍射理论,计算了系统横向和轴向分辨率.利用MATLAB建模仿真,在数值孔径为0.65、工作波长为405 nm时,分析比较了微分干涉差共焦显微系统、传统显微系统和共焦显微系统的分辨率.结果表明微分干涉差共焦显微系统具有230 nm的横向分辨率和25 nm轴向台阶高度差的分辨能力(对应划痕等缺陷形式).此外,仿真和分析了实际应用中探测器尺寸、样品轴向偏移等的影响,模拟分析了膜层微结构缺陷的探测,结果表明本系统可以探测200 nm宽、10 nm高的微结构缺陷,较另外两种系统有更好的探测能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	72	423	13.0	17.0
5	张昊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	11	28	3.0	5.0
9	戴岑	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	1	4	1.0	1.0
13	李佃蒙	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	2	11	2.0	2.0