低阶像差校正的压电驱动变形镜测试与仿真优化

• 作者: 付天洋 关朝亮 刘俊峰 宁禹 戴一帆 范占斌
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光纤激光器 横向压电驱动变形镜 闭环仿真 仿真优化
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 机械工程·电子科学与技术
• 页码范围: 106-111
• 页数: 6页
• 分类号: TH161|O439
• 字数: 3449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201804017

摘要

光纤激光器输出光束带有波前畸变,制约了光学系统的性能和工作效率.搭建实验系统分析了超连续谱光纤激光器系统输出光束的像差特性,不同波长的滤波片测试像差均以离焦为主.根据这一特点制备了3单元单层横向压电驱动变形镜样镜,并进行特性测试.变形镜影响函数有限元仿真和实测吻合度可达77％以上,一阶谐振频率12.1 kHz.以实际像差为对象进行闭环仿真,校正精度达到0.77.另外,从校正精度及行程两个方面对变形镜进行了有限元优化仿真.结果9单元变形镜(有效口径7.5 mm)校正精度达到0.9左右.镜片与压电片厚度比存在最优值约0.3,行程可提升60％以上.