200单元硅基单压电变形镜的设计与测试

• 作者: 刘莹 李保庆 褚家如 陈俊杰 马剑强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 地球科学
• 关键词: 压电变形镜 硅基变形镜 自适应光学 天文望远镜
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2047-2053
• 页数: 7页
• 分类号: TN384|P111
• 字数: 2565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142208.2047

摘要

针对天文望远镜对变形镜的需求,设计了200单元级硅基单压电变形镜并对其进行了性能测试.首先,通过有限元方法对单压电变形镜进行结构建模,分析比较了电极排列形式和边界支撑方式对变形镜性能的影响.然后,制备了3款200单元变形镜样机(环形简支,环形固支,六边形简支).最后,利用干涉仪测量了变形镜的影响函数,并通过激光多普勒测振仪测量其频响特性.仿真与实验结果表明:致动器在50 V电压下变形量可达1μm,固支条件下谐振频率在1 kHz左右,对前100项Zernike像差具有良好的校正能力.该变形镜在低成本天文自适应光学系统中具有应用潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李保庆	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	137	2920	33.0	43.0
2	刘莹	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	33	405	10.0	19.0
3	褚家如	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	76	566	14.0	19.0
4	陈俊杰	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	13	194	8.0	13.0
5	马剑强	宁波大学机械工程与力学学院	20	62	5.0	7.0