球面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度影响因素的研究

• 作者: 孙豪 林泽钦 王素娟 起建立 颜志涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微透镜阵列 慢刀伺服 表面粗糙度 形状精度
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2516-2526
• 页数: 11页
• 分类号: TH703
• 字数: 4138字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182610.2516

摘要

超精密慢伺服车削可加工出高精度的连续和非连续自由曲面,但是在微透镜阵列的加工过程中,不同位置的透镜加工精度也不同,个别子透镜的质量降低可能引起整个功能部件的失效.为了研究曲面上微透镜阵列超精密慢伺服加工精度的影响因素,本文采用实验的方法分析基面几何形状和子透镜位置对球面上微透镜阵列慢伺服车削加工精度的影响,通过在三种不同球径的基面上加工微透镜阵列,并使用Bruker GT-X白光干涉仪测量所加工的基面和微透镜阵列,分析了不同基面上不同位置的子镜表面粗糙度和形状精度的变化趋势.实验结果表明,同一基面上不同位置的子透镜,慢伺服车削加工表面微观形貌不同,表面粗糙度和形状精度也不同;基面的几何形状也会影响子镜的加工精度,当基面球径从50 mm增大至150mm时,外圈子镜的表面粗糙度从75.78 nm(Ra)变小为69.08 nm(Ra).在超精密慢伺服加工微透镜阵列过程中,必须考虑基面几何形状和子透镜位置两个因素对加工精度的影响,这将有助于提高微透镜阵列加工精度的一致性并保证微透镜阵列功能的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王素娟	广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室	11	34	4.0	5.0
2	颜志涛	广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室	4	6	2.0	2.0
3	林泽钦	广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室	6	4	1.0	2.0
4	孙豪	广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室	2	4	1.0	2.0
5	起建立	广东工业大学机电工程学院广东省微纳加工技术与装备重点实验室	1	4	1.0	1.0