射频电感耦合等离子体在横向磁场中扩散的研究

• 作者: 李明 陈浩 雷光玖 黄丽萍
• 来源期刊: 核聚变与等离子体物理
• 学科: 工学
• 关键词: 射频负离子源 等离子体扩散 横向磁场 电子温度 离子密度
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 核聚变工程技术
• 页码范围: 105-109
• 页数: 5页
• 分类号: TL62+4
• 字数: 1973字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16568/j.0254-6086.201801017

摘要

通过轴向移动朗缪尔探针,考察了外置电磁铁提供的横向磁场对射频感应耦合等离子体(ICP)延轴向扩散过程中的电子温度、离子密度的影响.实验数据表明,与无磁场条件下的结果相比,横向磁场的加入使得扩散区内的电子温度沿轴向迅速下降,研究了横向磁场对电子的过滤作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷光玖		17	69	5.0	7.0
2	李明		5	5	2.0	2.0
3	陈浩		1	1	1.0	1.0
4	黄丽萍		1	1	1.0	1.0