EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究

• 作者: 周桃庚 孟海凤 张俊超 张可佳 张碧丰 李晓辉 熊利民 王常世 蔡川 赫英威
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 EL红外缺陷测试仪 空间频率响应 分辨率 校准
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 246-250
• 页数: 5页
• 分类号: TB96
• 字数: 3278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.02.22

摘要

基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置.分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程.提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作.基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好.