硅切割废砂浆沉积抑制方法的研究

• 作者: 张兰月 朱明露 李英旭 陆建伟 黄晨晨
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 硅片 废砂浆 聚集结块 pH平衡点
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 环境·健康·安全
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文

摘要

硅片切割废砂浆很容易发生团聚,对在线回收砂浆质量以及硅片切割效果和硅片清洗均有不良的影响.通过探讨废砂浆中大颗粒的形成过程及条件,揭示砂浆团聚的主要原因;同时发现,调控废砂浆不同初始pH,其pH最终都会趋于一个定值,即为废砂浆pH平衡点.通过调节废砂浆pH使其小于平衡点,可以有效抑制砂浆聚集结块.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兰月		1	0	0.0	0.0
2	朱明露		1	0	0.0	0.0
3	陆建伟		1	0	0.0	0.0
4	黄晨晨		1	0	0.0	0.0
5	李英旭		1	0	0.0	0.0