硅片切割废砂浆中去除硅和二氧化硅工艺的研究

• 作者: 侯思懿 汪长安 铁生年
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 切割废砂浆 硅 二氧化硅 碱洗法 除杂
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 1435-1439
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.1
• 字数: 3217字
• 语种: 中文

摘要

本文主要研究用碱洗法去除硅片切割废砂浆中硅和二氧化硅等杂质,以获得高纯度的碳化硅.研究了碱液的种类、碱液的浓度、碱液与总硅的配比、反应时间和反应温度各因素对除硅效果的影响,通过正交实验得出了最优的工艺条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪长安	青海大学非金属材料研究所	102	944	16.0	24.0
3	铁生年	青海大学非金属材料研究所	110	679	13.0	21.0
6	侯思懿	青海大学非金属材料研究所	10	40	3.0	6.0