电感耦合等离子体质谱法测定电子级NF3中金属杂质

• 作者: 付梦月 吴旭飞 张亚平 杨亚琴 焦培培 黄晓磊
• 来源期刊: 化学推进剂与高分子材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) NF3 金属杂质
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 分析与检测
• 页码范围: 86-89
• 页数: 4页
• 分类号: TQ124.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.16572/j.issn1672-2191.201809063

摘要

采用密闭的取样系统吸收电子级NF3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定了吸收液的金属杂质含量.结果表明:该方法测定电子级NF3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09％,NF3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10-9.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄晓磊		21	55	5.0	6.0
2	焦培培		2	0	0.0	0.0
3	杨亚琴		2	0	0.0	0.0
4	吴旭飞		5	16	2.0	4.0
5	付梦月		2	0	0.0	0.0
6	张亚平		2	0	0.0	0.0