钇铝石榴石晶体的机械抛光工艺

• 作者: 司立坤 孙志明 范康男 金洙吉 韩晓龙
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磨粒团聚 平面度 表面粗糙度 抛光盘转速
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 73-77
• 页数: 5页
• 分类号: TG74|TH162
• 字数: 3115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.1.0013

摘要

钇铝石榴石(yttrium aluminum garnet,YAG)是性能优良的激光晶体,但其属于硬脆材料(莫氏硬度8.5),在抛光时易产生划痕及凹坑等缺陷.为去除YAG晶体的表面缺陷,用铜盘进行粗磨,并研究载荷和抛光盘转速对晶体平面度和表面粗糙度的影响.结果显示:铜盘可改善晶体表面缺陷,在转速70 r/min、载荷15 kPa时抛光45 min可达到最佳加工效果.再使用IC1000进一步降低晶体表面粗糙度,在抛光盘转速为9r/min,抛光压力为15 kPa的条件下抛光30 min后,平面度PV可达100 nm,表面粗糙度RMS可达0.9 nm,在体视显微镜下观察无划痕及凹坑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金洙吉	大连理工大学机械工程学院	105	1334	18.0	32.0
2	司立坤	大连理工大学机械工程学院	19	37	3.0	4.0
3	韩晓龙	大连理工大学机械工程学院	3	6	2.0	2.0
4	孙志明	大连理工大学机械工程学院	1	2	1.0	1.0
5	范康男	大连理工大学机械工程学院	1	2	1.0	1.0