在线阳光镀膜的废气检测及处理技术

• 作者: 刘卫东 姚振华 李伟 马玉聪
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 阳光镀膜 废气检测 焚烧炉 废气处理
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171
• 字数: 1947字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2018.10.013

摘要

采用化学气相沉积法(CVD法)制备硅膜,尾气为含氢的不定型硅、甲烷、乙烷和未完全反应的乙烯等,这些气体和褐色的不定型硅粉一起从废气中排出.因含有一些易燃易爆的氢及有机气体,导致处理困难.通过采用焚烧炉燃烧的方法,很好地解决了废气粉尘的处理问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘卫东		6	10	1.0	3.0
2	姚振华		4	0	0.0	0.0
3	李伟		4	0	0.0	0.0
4	马玉聪		1	0	0.0	0.0