滤波器增强的高灵敏度室温HEMT太赫兹探测器

• 作者: 孙云飞 孙建东 班建民 秦华 罗恒 陶重犇
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 探测器 太赫兹 高电子迁移率晶体管 滤波器 扫描成像
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 探测器
• 页码范围: 250-257
• 页数: 8页
• 分类号: TL814|TN386.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0304001

摘要

制备了一种集成有太赫兹低通滤波器的高速、高灵敏度GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)太赫兹探测器.实验研究表明,当在太赫兹天线与引线电极之间加入低通滤波器时,太赫兹耦合天线的谐振性能恢复,室温下器件的响应度达到了1.05×103 V/W;测试带宽为1 Hz时,器件的噪声等效功率达到了4.7×10-11 W.利用该探测器单元对不同材料进行了快速扫描成像,结果表明,该探测器单元具有较好的成像分辨率,且器件的响应速度优于商用的气动探测器的和热释电探测器的.