溅射偏压对TC17合金涂层生长的影响研究

• 作者: 张书铭 文懋 李虎 王敏涓 黄旭 黄浩
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射偏压 TC17 涂层生长
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 498-502
• 页数: 5页
• 分类号: TB333
• 语种: 中文
• DOI: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY17020001

摘要

SiC纤维增强钛基复合材料(SiCf/Ti)具有优良的力学性能,是航空领域重要的高温结构材料;高质量的先驱丝(带金属涂层的SiC纤维)是研制复合材料的关键,而这主要受溅射工艺的影响.本文采用磁控溅射法沉积TC17合金涂层,研究了沉积过程中溅射偏压对涂层生长情况的影响规律,通过X射线衍射(XRD)、 俄歇电子(AES)、 扫描电镜(SEM)、 表面轮廓仪和纳米压痕仪分别对涂层的晶体结构、 成分、 微观形貌、 应力、 弹性模量及硬度进行了分析.结果表明溅射偏压对合金涂层应力影响显著,随着负偏压的增大,涂层应力由张应力向压应力转变;由于压应力有利于涂层与纤维的结合,因此在高偏压下涂层与纤维的结合情况较好且生长致密;而偏压对涂层组成物相和弹性模量的影响较小;涂层硬度随负偏压的增大总体呈现增大的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄旭	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	98	1387	17.0	32.0
2	李虎	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	28	188	6.0	13.0
3	黄浩	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	17	360	6.0	17.0
4	文懋	吉林大学材料科学系	3	8	2.0	2.0
5	王敏涓	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	4	9	2.0	3.0
6	张书铭	北京航空材料研究院先进钛合金航空科技重点实验室	2	2	1.0	1.0