体声波梯形滤波器的布局设计方法

• 作者: 张大鹏 文数文 贾乐 高杨
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 体声波 滤波器 谐振器 布局
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 106-111
• 页数: 6页
• 分类号: TN603.5|TN629.1
• 字数: 3672字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.170112

摘要

为保证滤波器性能,缩小滤波器体积,提高晶圆上的芯片数量,提出一种体声波(BAW)梯形滤波器布局的设计方法.该方法包括11条设计准则和设计流程.11条设计准则限制体声波谐振器(BAWR)的形状、位置,BAWR之间的距离,BAWR与焊盘的距离和互连线.设计流程有7个步骤:(1)根据每个BAWR的有效面积,预设每个BAWR的形状;(2)根据BAW梯形滤波器电路结构,排列BAWR;(3)“压缩”布局;(4)对BAWR切趾、微调和旋转;(5)对BAWR和焊盘布线;(6)检测滤波器布局是否符合设计准则;(7)使用声-电磁联合仿真,验证滤波器布局结果.以10个BAWR串并联而成的5阶BAW梯形滤波器为案例,展示了该方法的设计准则和设计流程.优化后的滤波器布局面积利用率达到了44％.对比未优化的滤波器布局,利用该方法优化后的滤波器布局提高了BAW滤波器的带内插损和带外抑制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾乐	西南科技大学信息工程学院	9	12	2.0	2.0
2	张大鹏	西南科技大学信息工程学院	9	7	1.0	1.0