石墨烯/二氧化钛异质结场效应探测器光电特性

• 作者: 周全 张恩亮 汪岳峰 申钧 白向兴 魏大鹏
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 异质结 场效应管 光电探测器 背栅调制 耦合 载流子寿命
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 18-26
• 页数: 9页
• 分类号: TN324.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20184706.0623001

摘要

利用二氧化钛薄膜光吸收及表面钝化特性,在硅晶圆基底表面制备石墨烯/二氧化钛异质结场效应管光电探测器,并研究其光电响应特性.结果表明,二氧化钛钝化后的探测器可以有效抑制沟道表面的气体小分子吸附,降低器件的暗电流漂移;同时,探测器利用石墨烯的电荷敏感和复合薄膜的光谱吸收特性,显著提高了石墨烯场效应管的响应度.紫外波段,顶层二氧化钛吸光产生的光生电子将注入到石墨烯沟道中,对石墨烯沟道产生n型掺杂,器件最大响应度可达3.5×105 A/W.在可见光波段,因为二氧化钛层与石墨烯薄膜间存在杂质能级,界面间的电荷转移使沟道载流子寿命显著提高.相对于传统的二氧化钛阵列探测器,该探测器在响应波段与响应度性能上都具有明显优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周全	中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系	6	69	4.0	6.0
3	汪岳峰	中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系	4	6	1.0	2.0
7	张恩亮	中科院重庆绿色智能技术研究院	1	5	1.0	1.0
8	白向兴	中科院重庆绿色智能技术研究院	1	5	1.0	1.0
9	申钧	中科院重庆绿色智能技术研究院	1	5	1.0	1.0
10	魏大鹏	中科院重庆绿色智能技术研究院	1	5	1.0	1.0