三维微纳加工领域迎来精妙“冰刻”术

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳加工 三维 冰 电子束曝光 科研人员 浙江大学 金属结构 水蒸气
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 17-18
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7

摘要

在-130℃附近的真空中,水蒸气会凝华成一层超级光滑的薄冰。近日,浙江大学科研人员用这种特殊的“冰”代替传统电子束曝光中的光刻胶,做出了微纳尺度的三维金属结构。这一新颖、简便的“冰刻”术有望在三维微纳加工中大显身手。