一种25Gbps硅基MZ电光调制器驱动电极的设计

• 作者: 何卫锋 纪鹏飞
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 硅基光互联 电光调制器 高速行波电极
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TN929.5
• 语种: 中文

摘要

为了满足高带宽、高密度的数据互联需求,本文基于IMEC的硅光子SOI工艺提出了一种紧凑型行波驱动电极的马赫-曾德(MZ)调制器结构.本文详细分析了设计高速行波电极需解决的问题,包括考虑阻抗匹配、微波损耗以及电光信号的速度匹配问题.设计实现了单通道MZ调制器电光调制3dB带宽17 GHz,可支持25 Gb-ps的传输速率.同时为了应用于多通道高密度的电光集成互联中,优化了电极结构,使得MZ调制器面积节省25％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何卫锋	上海交通大学微纳电子学系	35	100	4.0	9.0
2	纪鹏飞	上海交通大学微纳电子学系	3	2	1.0	1.0