芯片制造中的化学反应

• 作者: 周易
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片 集成电路 化学反应
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 专题讨论
• 页码范围: 140-142
• 页数: 3页
• 分类号: TQ597
• 字数: 1830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2018.05.50

摘要

芯片普遍应用于计算机、手机、汽车、网络通信等几大核心领域,芯片的制造离不开晶片制备和化学微加工技术.介绍了芯片生产中晶片的制备、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等过程中涉及的一些化学反应.