工作压强对SiC空心微球结构及性能的影响

• 作者: 何小珊 何智兵 唐翠兰 杜凯 王涛 黄景林
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: SiC空心微球 压强 成分 表面粗糙度 球形度 壁厚均匀性
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1897-1903
• 页数: 7页
• 分类号: O469
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2018.youxian.0046

摘要

采用化学气相沉积(CVD)-高温热解法,在不同工作压强条件下,制备了惯性约束聚变靶用SiC空心微球.利用X射线光电子能谱仪、扫描电子显微镜、白光干涉仪、X射线照相机对SiC空心微球的成分、表面形貌、表面粗糙度、球形度以及壁厚均匀性进行了测试与分析.研究结果表明:随工作压强的增加,SiC空心微球的表面均方根粗糙度先减小后增加,当工作压强为15 Pa时,表面均方根粗糙度达到最小值98 nm;随工作压强的增加,SiC空心微球的球形度未发生明显变化,且均优于97％;而壁厚均匀性则随工作压强的增加先增加后减小,当压强为15 Pa时,壁厚均匀性可达95％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜凯	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	72	527	11.0	19.0
2	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
3	王涛	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	33	67	5.0	6.0
4	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0
5	黄景林	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	2	1	1.0	1.0
6	唐翠兰	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0