基于激光干涉技术的大尺寸绝对测量方法的研究

• 作者: 冉勇 刘红光 崔尧尧 李凌梅 路瑞军 马艺清
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测长机 激光干涉仪 绝对测量 大尺寸测量 不确定度
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 107-109,124
• 页数: 4页
• 分类号: TB92
• 字数: 3781字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2018.01.024

摘要

大型工件在制造过程中,面临着各式各样的检测任务,大尺寸测量技术成为现代测试技术的一个越来越重要的分支,为提高大尺寸工件静态几何量的检测精度,将激光干涉仪与传统测长机相结合,提出两种基于激光干涉技术的大尺寸高精度的绝对测量方法.通过对两种测量方法的不确定度理论分析和实验比对,验证方法的准确度和可行性.一方面激光干涉仪传统的动态测量转换为高精度的静态量检测,拓展了激光干涉仪的应用领域,同时弥补了测长机在绝对测量能力方面的不足,提高了测长机的测量精度和检测效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李凌梅		24	34	4.0	4.0
2	马艺清		8	11	2.0	3.0
3	路瑞军		18	48	4.0	6.0
4	崔尧尧		19	34	4.0	4.0
5	冉勇		7	51	4.0	7.0
6	刘红光		16	38	4.0	5.0