非固定环带随机双面抛光技术研究

• 作者: 何曼泽 周佩璠 黄颖
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 非固定环带 随机双面抛光 大口径超薄元件 激光损伤阈值
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 34-38
• 页数: 5页
• 分类号: TG356
• 字数: 1493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201830.180358

摘要

提出了一种基于平移偏摆运动的非固定环带随机双面抛光的方法,通过设计平移偏摆装置使得工件运动方式脱离固定环带的限制,借助随机性运动进行迭代,解决了行星式双面抛光等固定环带抛光过程中产生的周期性轨迹问题;通过优化运动方式组合,在随机性运动叠加情况下实现了大口径超薄元件面形稳定收敛控制.与行星式双面抛光相比,不仅面形精度更好,而且没有明显的周期性加工痕迹.该方法可以应用到对表面激光损伤阈值有特殊要求的超薄件批量生产当中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周佩璠		3	3	1.0	1.0
2	何曼泽	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	1	0	0.0	0.0
3	黄颖		1	0	0.0	0.0