原子光刻中原子通量的优化研究

• 作者: 刘杰 朱立 李同保 程鑫彬 邓晓 陈杰
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子与分子物理学 纳米计量 传递标准 原子光刻 纳米光栅 原子通量
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 原子与分子物理学
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: O562
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.1202001

摘要

原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一.应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研究了三类典型原子炉管构型下的原子通量水平,并基于最优原子炉管构型将研制的铬纳米光栅峰谷高度提升到100 nm,使光栅质量得到进一步优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘杰		61	418	12.0	18.0
2	程鑫彬		12	52	4.0	7.0
3	李同保		41	130	7.0	8.0
4	陈杰		62	370	10.0	14.0
5	朱立		1	0	0.0	0.0
6	邓晓		5	6	2.0	2.0