纳米胶体自激脉冲空化射流抛光技术

• 作者: 张勇 张飞虎 徐琴 王星
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自激脉冲 空化 纳米胶体 射流 抛光
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 页码范围: 2294-2303
• 页数: 10页
• 分类号: TG664
• 字数: 2199字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182609.2294

摘要

为了满足光学复杂曲面的精密、高效加工,提出一种利用空化效应促进射流加工效率的光学表面加工方法——纳米胶体自激脉冲空化射流抛光,并研制了加工系统.采用流体动力学对纳米胶体自激脉冲空化射流抛光中的喷射过程进行了仿真,获得了周期为0.3s的自激脉冲射流典型时刻下加工流场的流体动、静压力、速度、空化效应分布规律.进行了纳米胶体自激脉冲空化射流抛光试验,结果表明该系统能够产生效果良好的自激脉冲空化射流.采用该方法对单晶硅表面进行加工可以得到表面粗糙度为Ra 0.904 nm(Rms 1.225 nm)的超光滑表面,此加工表面粗糙度质量与相同加工条件下的普通纳米胶体射流抛光相当,但其加工效率较普通纳米胶体射流抛光能够提升20％ 左右,能够满足光学表面高效精密加工的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎	哈尔滨工业大学机电工程学院	132	2251	25.0	41.0
2	张勇	哈尔滨工业大学机电工程学院	126	1376	20.0	31.0
3	徐琴	河南工业大学机电工程学院	7	22	3.0	4.0
4	王星	河南工业大学机电工程学院	10	38	4.0	6.0