超精密纳米胶体射流抛光试验研究

• 作者: 宋孝宗 张勇 张飞虎 栾殿荣
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 超精密加工 纳米胶体射流加工 抛光 纳米颗粒
• 年，卷（期）: 2008,（21）
• 所属期刊栏目: 超精密加工
• 页码范围: 2521-2524
• 页数: 4页
• 分类号: TG664
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.21.001

摘要

综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法.利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光.试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎		132	2251	25.0	41.0
2	栾殿荣		16	274	10.0	16.0
3	张勇		126	1376	20.0	31.0
4	宋孝宗		3	26	2.0	3.0