晶体的超精密抛光

• 作者: 沈光球 王晓青 谢会东
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超光滑表面 超精密抛光 表面粗糙度 平面度
• 年，卷（期）: 2004,（6）
• 页码范围: 1035-1040
• 页数: 6页
• 分类号: O786
• 字数: 5271字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.034

摘要

超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义.超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法.本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍.同时描述了超精密抛光的发展阶段、现状和发展趋势.