大面积狭缝式涂布工作台的设计与分析

• 作者: 李烁
• 来源期刊: 制造业自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 狭缝式涂布 大面积 模态分析
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 设计与应用
• 页码范围: 126-128
• 页数: 3页
• 分类号: TH12
• 字数: 1292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0134.2018.05.032

摘要

针对狭缝式涂布在大面积涂布领域的应用需求,设计了用于平板显示光阻涂布的精密工作台.利用有限元仿真软件ANSYS Workbench对工作台的龙门滑台组件进行了静力学分析,同时对工作台的运动部件进行了动力学模态分析,结果表明所设计工作台具备足够极高的静态刚度和动态响应能力,能够满足大面积狭缝式涂布要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李烁	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	0	0.0	0.0