光学检测下气浮支承的玻璃薄板变形

• 作者: 李程伟 王晓梦 黄斌
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃基板检测 连续载荷 挠度 Fluent仿真 气浮支承
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 114-121
• 页数: 8页
• 分类号: TH122|TG65
• 字数: 3932字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182601.0114

摘要

液晶玻璃基板在线检测过程中对玻璃板在垂直方向上的变形量有严格的要求,为了确定在指标要求光学检测精度下的喷嘴间距.本文基于弹性薄板的小挠度弯曲理论对气浮支承下的液晶玻璃板进行理论分析,推导出液晶玻璃薄板在吹吸喷嘴作用下的最大挠度计算公式,分析得出最大挠度与通孔间距的二次方、载荷集度成正比;通过 Fluent对液晶玻璃基板气浮支承系统进行仿真,得到了不同的喷嘴孔间距下的载荷分布以及玻璃基板最大位移处受到载荷的准确值,从满足玻璃板最大位移要求、气膜面的压力分布状况及经济性方面综合考虑得到气膜单元的通孔横向间距范围,给出了采用气浮支承传输的液晶玻璃基板光学检测仪器的喷嘴布置参数,即喷嘴的合理间距应处于20~25 mm 之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄斌	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	24	80	5.0	8.0
2	李程伟	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	4	3	1.0	1.0
6	王晓梦	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	3	1.0	1.0