大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术

• 作者: 刘世杰 周游 徐隆波 白云波 邵建达
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 光学均匀性 拼接检测 激光玻璃
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 201-206
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0912004

摘要

提出了基于600 mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1 m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证.结果表明:拼接结果平滑,均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10-7,全口径均匀性的重复性优于4×10-8,单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10-7.