ZrO2掺杂AZO防静电陶瓷的制备

• 作者: 刘欢 杨海涛 沈金城 王晨 董磊 赵江涛
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: AZO陶瓷 防静电 烧结 ZrO2掺杂
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 365-369
• 页数: 5页
• 分类号: TB321
• 字数: 2727字
• 语种: 中文

摘要

以AZO陶瓷为基体,采用传统的固相烧结技术制备了ZrO2掺杂AZO防静电陶瓷,研究了不同烧结温度、ZrO2掺杂量对AZO陶瓷的表面电阻率、相对密度、维氏硬度的影响.通过XRD测定陶瓷的物相结构,SEM观察陶瓷的断面形貌,表面电阻测试仪测量陶瓷的表面电阻,维氏显微硬度仪测量陶瓷的维氏硬度,阿基米德排水法测量陶瓷密度等方法对ZrO2掺杂AZO陶瓷进行了分析表征.结果表明:当烧结温度为1450℃,ZrO2的掺杂量为1wt%时,其综合性能最佳.此时陶瓷表面电阻率为105Ω· cm,相对密度达97.61%,维氏硬度为357.5 HV0.3,已达到防静电陶瓷性能要求.