DC-DC转换器微型片上螺旋电感器的设计和建模

• 作者: Abdelhadi NAMOUNE Abdelkader BELBOULA Faycal CHABNI Rachid TALEB 能源与可再生能源实验室(LGEER)
• 来源期刊: 磁性元件与电源
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电感器 技术参数 螺旋电感器
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 页码范围: 148-152
• 页数: 5页
• 分类号: TN752

摘要

本文研究了片上电感工艺参数的影响，利用MATLAB仿真仿真了片上电感的特性。所有的电感均采用标准的具有金属层的硅工艺进行制造。只有当技术参数（例如顶部金属和衬底之间的金属导电率、金属厚度、氧化物厚度，以及电感上衬底的导电率，品质因数和自谐振频率）一起使用时，仿真结果才是准确的。