基于响应曲面法的YG8硬质合金刀片化学机械抛光工艺参数优化

• 作者: 刘舜 吴锋 李敏 毛美姣 秦长江 胡自化 袁巨龙
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 化学机械抛光 硬质合金刀片 工艺参数优化 响应曲面法
• 年，卷（期）: 2018,（19）
• 所属期刊栏目: 机械基础工程
• 页码范围: 2290-2297
• 页数: 8页
• 分类号: TG175
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2018.19.004

摘要

为了快速确定YG8前刀面抛光的最佳工艺参数,提高加工效率和精度,利用响应曲面法对YG8硬质合金刀片抛光工艺进行优化试验研究.通过单因素试验确定抛光转速、抛光压力、磨粒粒径和磨粒浓度的水平,并对4个工艺参数进行中心复合设计试验.建立了材料去除率RMR和表面粗糙度Ra的预测模型,基于响应曲面法优化工艺参数获得最佳工艺参数为抛光转速65.5 r/min、抛光压力156.7 kPa、磨粒粒径1.1μm、磨粒浓度14％,此时得到了最小表面粗糙度预测值Ra=0.019μm,材料去除率RMR=56.6 nm/min.试验结果表明,基于响应曲面法的材料去除率与表面粗糙度预测模型准确有效.