大口径溶胶-凝胶光学膜层提拉制备工艺控制

• 作者: 严鸿维 吕海兵 王韬 袁晓东
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学膜 膜厚 折射率 提拉镀膜
• 年，卷（期）: 2018,（z1）
• 所属期刊栏目: 材料表面技术与连接技术
• 页码范围: 297-299
• 页数: 3页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1503字
• 语种: 中文

摘要

大口径溶胶-凝胶化学膜的光学性能指标主要由膜层厚度和折射率决定,提拉法制备工艺的关键技术就是对这两个参数进行精确控制.通过优化胶体制备工艺,并利用椭圆偏振法测量化学膜膜厚及折射率变化情况,获得了提拉速度模型,并进行了实验验证,为大口径化学膜高性能指标提供了技术和工艺保证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁晓东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	114	624	13.0	17.0
2	吕海兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	49	310	9.0	14.0
3	王韬	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	21	36	3.0	4.0
4	严鸿维	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	10	9	2.0	2.0