SAW和BAW滤波器的对比

• 作者: 代一平
• 来源期刊: 信息技术与信息化
• 关键词: BAW SAW 压电薄膜
• 年，卷（期）: 2018,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 213-215
• 页数: 3页
• 字数: 1999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9528.2018.12.070

摘要

在这篇文章中,通过讨论体声波(BAW)滤波器和声表面波(SAW)射频滤波器的结构、工作原理,以及它们之间的区别,对BAW滤波器技术做出了一个概述,相对与SAW滤波器来说,BAW滤波器性能更好一些,q值高、相位噪声少、体积小等,但是加工起来相对较难.加工难的原因主要包括压电薄膜沉积难达到,晶圆级频率和层厚度修整难.本文在最后对未来的BAW滤波器技术的改进方面提出了一些建议.未来的BAW滤波器技术具有很大的研究价值和研究空间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	代一平	河南工业贸易职业学院实验实训中心	9	10	2.0	2.0