自由曲面干涉仪中自适应零位补偿器间距标定

• 作者: 俞本立 周胜 张磊 李东 李劲松
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 自由曲面检测 自适应干涉仪 自适应零位补偿器 间距标定
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 167-174
• 页数: 8页
• 分类号: TQ171.65
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201845.1104005

摘要

研究了自适应补偿器(ANC)中两大补偿器——可变形镜(DM)和部分补偿镜之间的轴向距离标定技术,提出了一种多零位约束方法,利用一块校准镜,通过DM形变实现不同位置的零位检测,从而构建多个测量方程用以限制误差耦合,实现ANC空间间距自标定.通过仿真和实验验证了该标定方法的高精度.该方法摒弃了外部直接测量手段,使得ANC和整体干涉仪的集成化成为可能.