倾斜波面干涉仪中光纤阵列型点源发生器的光程误差标定方法

• 作者: 姚德超 朱日宏 朱雪妍 李嘉 李小柳 沈华 路晴
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 点源发生器 光纤阵列 小数重合法 光程差
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 110-115
• 页数: 6页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0512002

摘要

分析了光纤阵列型点源发生器相对于透镜阵列型点源发生器的优势.针对光纤阵列型点源发生器各光纤出射光束之间存在初始光程差的问题,提出了基于马赫-曾德尔全光纤干涉仪和小数重合法的光程差检测方法.测量各光束间的光程差并将其引入到倾斜波面干涉系统的误差模型中,以消除其对被测件面形偏差解算的影响.结果表明,该检测系统的测量不确定度为0.07λ3(λ3=632.8 nm).分别使用基于光纤阵列的倾斜波面干涉系统和ZYGO干涉仪对抛物面镜片进行测量,二者获得的面形偏差结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱日宏		129	1152	16.0	28.0
2	沈华		23	103	7.0	9.0
3	李小柳		1	0	0.0	0.0
4	李嘉		5	14	1.0	3.0
5	朱雪妍		1	0	0.0	0.0
6	姚德超		1	0	0.0	0.0
7	路晴		1	0	0.0	0.0