太赫兹波段金属阵列结构的透射及反射宽谱偏振特性

• 作者: 代国红 曹俊诚 汪云 汪涛 沈云 谭智勇 邓晓华 邹林儿
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 集成光学 偏振特性 透射及反射特性 金属光栅阵列 太赫兹 宽谱
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 集成光学
• 页码范围: 123-129
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201838.0513001

摘要

基于计算机仿真技术(CST)软件对二维金属光栅阵列在0.1～10 THz波段的偏振特性进行了数值分析,利用光刻和金属薄膜工艺在500 μm厚的高阻硅衬底上沉积了20 nm厚的不同结构周期的金属铜光栅阵列,利用傅里叶变换光谱仪测量了该光栅阵列的透射及反射特性.结果表明:在太赫兹宽谱范围内,该光栅阵列的透射和反射都具有良好的偏振特性,且偏振特性范围可通过调整结构周期进行调节;该研究对太赫兹偏振器的进一步研究及应用提供了参考.