低摩擦长寿命类富勒烯碳基薄膜的制备及其摩擦学特性

• 作者: 丁旭 吴坤尧 孟志新 张俊彦 张斌 李兆
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 类富勒烯碳基薄膜 长寿命 低摩擦
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 559-562
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 4029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2018.04.010

摘要

以甲烷(CH4)为前躯体,利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在单晶硅<n-100)基底表面制备含氢类富勒烯碳基薄膜(FL-C∶H).采用高分辨透射电镜(HRTEM)、拉曼光谱仪(LABRAM)和多功能X射线光电子能谱仪(XPS)对薄膜及磨屑结构进行表征;利用摩擦磨损试验机、扫描电子显微镜(SEM)分别测试薄膜的摩擦学性能和观察磨屑的微观形貌.结果表明,所制备的碳基薄膜具有类富勒烯纳米结构,且磨屑的显微结构亦呈现类富勒烯结构的特征.同时,类富勒烯纳米结构的碳基薄膜具有优异的摩擦学性能,与传统非晶类金刚石薄膜相比,其磨损寿命显著提高,在载荷为30 N、摩擦速率为0.1 m/s下薄膜的磨损寿命为3 538.2 m,摩擦系数低至0.012左右,显示出长寿命低摩擦特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌	中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心	201	3903	35.0	56.0
2	张俊彦	中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心	59	707	12.0	25.0
3	吴坤尧	西安航空学院材料工程学院	16	9	1.0	2.0
4	李兆	西安航空学院材料工程学院	20	13	2.0	2.0
5	丁旭	西安航空学院材料工程学院	19	10	2.0	2.0
6	孟志新	西安航空学院材料工程学院	5	1	1.0	1.0