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摘要:
微机电系统是一种将微电子技术与机械工程有机结合在一起的工业技术,其能够在微米范围内实现操作.本文简要介绍了微机电系统内涵及其分类,结合当前最新研究动态,展望了微机电系统科学与技术的未来发展趋势,旨在为相关研究与实践提供参考.
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篇名 微机电系统科学与技术发展趋势
来源期刊 数字技术与应用 学科 工学
关键词 微机电系统 机电结合 发展趋势
年,卷(期) 2018,(11) 所属期刊栏目 学术论坛
研究方向 页码范围 211,213
页数 2页 分类号 TH16
字数 1951字 语种 中文
DOI 10.19695/j.cnki.cn12-1369.2018.11.115
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微机电系统
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数字技术与应用
月刊
1007-9416
12-1369/TN
16开
天津市
6-251
1983
chi
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