微应变诱导各向异性硅纳米晶形成及其光学特性

• 作者: 刘明霞 徐可为 畅庚榕 马飞
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅纳米晶 各向异性 微观结构 光致发光 光伏电池
• 年，卷（期）: 2018,（18）
• 所属期刊栏目: 无机非金属及其复合材料
• 页码范围: 3104-3109
• 页数: 6页
• 分类号: TB321|O765
• 字数: 4091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2018.18.002

摘要

通过磁控溅射技术制备了非晶态富硅的碳化硅锗(Sil-x-yGexCy)薄膜,经过后续高温热处理,形成各向异性硅纳米晶,其微结构和光学特性由高分辨电镜、光致发光及光吸收实验进行表征,研究了各向异性应变对硅纳米晶形态和光学特性的影响,阐述了各向异性硅纳米晶的形成机理.研究表明,在各向异性应变能的诱导下硅纳米晶沿着〈002〉、〈113〉和〈220〉取向择优生长,形成具有多形态的硅纳米晶,显著改变了其能级结构,在2.57 eV和2.64 eV的位置硅纳米晶存在PL发射光谱,光吸收波段明显增加,可以同时吸收从红外到紫外(2.57 eV,1.89 eV,1.2 eV和0.96 eV)的光子,且光吸收范围随硅锗(RS/G)比例可调,故有望提高光伏电池的光量子产额.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐可为	西安文理学院陕西省再制造与表面工程技术重点实验室	238	3333	30.0	44.0
5	马飞	西安交通大学金属材料强度国家重点实验室	14	20	3.0	4.0
6	畅庚榕	西安文理学院陕西省再制造与表面工程技术重点实验室	7	5	1.0	2.0
7	刘明霞	西安文理学院陕西省再制造与表面工程技术重点实验室	3	1	1.0	1.0