应用于扫描隧道显微镜探针的纳米级钨针制备

• 作者: 王俊听
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 纳米针尖 扫描隧道显微镜 场致刻蚀
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 理论与算法
• 页码范围: 60-61
• 页数: 2页
• 字数: 1891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8519.2018.07.027

摘要

扫描隧道显微镜因其原子级别的空间分辨率,广泛应用于材料表面表征等领域.其成像分辨率取决于针尖的尖锐度,目前还没有可靠的方法,能够制备出用于高质量的针尖.本文提出了一种利用场致刻蚀技术的方法,能够可控地制备出纳米级的钨针.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王俊听	中国电子科技集团公司第三十八研究所	3	6	1.0	2.0